会 場：京都大学百周年時計台記念館国際交流ホールⅡ，
〒606-8501 京都市左京区吉田本町，
tel: 075-753-2286，fax:
075-753-2107
http://www.kyoto-u.ac.jp/ja/clocktower/
交 通：JR京都駅下車，地下鉄烏丸線今出川駅下車，
市バス201系統百万遍下車
共 催：日本鉄鋼協会数理モデリングフォーラム
趣 旨：MEMSはMicro Electro Mechanical Systemsの略であり，半導体製造技術を応用してマイクロ電気機械システムを作るものです．加速度，圧力などの各種センサー，光スイッチ，ミラーなどの微小なデバイスが製造されています．MEMS製造技術では独自の加工技術を多用しているため，設計の中に製造プロセスやパッケージング技術も含まれてしまい，複雑な製造プロセスをシミュレーションによって設計することが望まれています．また，デバイスの性能をあらかじめ解析することで，構造や寸法を最適化することが製品開発においては重要となっています．ここでは，MEMS設計シミュレーションの基礎から，設計・解析ツールの最前線までを紹介します．なお，講演会に先立ち，京都大学小寺研究室の見学会を行います．
研究室見学会：
小寺研究室MEMS関連設備の見学 （10:30～12:00）
京都大学 津守 不二夫君
微細加工装置や評価装置，また細胞等バイオ関連実験装置
休 憩 (12:00～13:00)
講演会：
司会：産業技術総合研究所 清水 透君
1. 開会の挨拶 (13:00～13:05)
豊橋技術科学大学 森 謙一郎君
2. MEMSシミュレーションの現状と課題 (13:05～13:35)
マイクロマシンセンター 水津 美晴俊君
3. MEMS-ONEによるシミュレーションとその解析事例 (13:35～14:15)
みずほ情報総研㈱ 浅海 和雄君
4. 細胞機能解析用MEMSデバイスの設計支援シミュレーション (14:15～14:55)
豊橋技術科学大学 柴田 隆行君
休 憩 (14:55～15:05)
5. CoventorWareによる最新のMEMS設計解析環境とその事例 (15:05～15:45)
丸紅情報システムズ㈱ 宮下 進太郎君
6.
IntelliSenseのMEMS設計・解析ツールとその設計事例 (15:45～16:25)
㈱アドバンスドテクノロジー 平出 隆一君
７． 総合討論
(16:25～16:50)
司会：産業技術総合研究所 清水 透君